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发明名称 SYSTEM FOR MEASURING A GAS MASS FLOW
摘要
申请公布号 EP0861423(A4) 申请公布日期 1999.04.21
申请号 EP19960937107 申请日期 1996.10.31
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 HINKLE, LUKE, D.
分类号 G01F1/86;G01F25/00;(IPC1-7):G01F25/00;G01F1/50 主分类号 G01F1/86
代理机构 代理人
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