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发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR PRODUCTION OF METALLIC COATINGS ON SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0909341(A1) 申请公布日期 1999.04.21
申请号 EP19970928109 申请日期 1997.05.30
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 KLIMES, WOLFGANG;WENZEL, CHRISTIAN;URBANSKY, NORBERT;SIEMROTH, PETER;SCHUELKE, THOMAS;SCHULTRICH, BERND
分类号 C23C14/04;C23C14/32;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/32;H01L21/285;H01L21/443 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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