| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF HYDROGEN PEROXIDE CONCENTRATION IN PRE-ETCHING LIQUID AND CONTROLLING METHOD OF HYDROGEN PEROXIDE CONCENTRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11106957(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
| 申请号 |
JP19970288029 |
申请日期 |
1997.10.03 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
ARIYAMA DAISAKU |
| 分类号 |
G01N31/00;C23F1/00;G01N33/00;H01J9/14;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
G01N31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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