| 发明名称 |
RUBBER PARTS FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING LINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11106501(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
| 申请号 |
JP19970291542 |
申请日期 |
1997.10.08 |
| 申请人 |
FUJIKURA RUBBER LTD |
发明人 |
TAKAHASHI YOSHIHISA;ITO AKIHIRO |
| 分类号 |
C08G65/22;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):C08G65/22 |
主分类号 |
C08G65/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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