发明名称 MANUFACTURE OF ETCHED PARTS
摘要
申请公布号 JPH11106956(A) 申请公布日期 1999.04.20
申请号 JP19970266071 申请日期 1997.09.30
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 IKEGAMI YOICHI;GOTO HIDEJI
分类号 C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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