发明名称 |
SUBSTRATE HOLDER FOR GROWING OXIDE SINGLE CRYSTAL MEMBRANE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11106285(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
申请号 |
JP19970286181 |
申请日期 |
1997.10.01 |
申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
TAKAGI TAKASHI;FUJINO MASARU;FUJII TAKASHI |
分类号 |
C30B19/06;C30B29/28;(IPC1-7):C30B19/06 |
主分类号 |
C30B19/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|