| 发明名称 |
SHIELD BOARD OF FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11106895(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
| 申请号 |
JP19970272729 |
申请日期 |
1997.10.06 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KAKINUMA MASAYASU;ISHIKAWA HIROICHI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
