| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE AND FORMING OF FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11106928(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
| 申请号 |
JP19970266644 |
申请日期 |
1997.09.30 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SATO YOSHINOBU;YUDA KATSUHISA;OKUMURA NOBU;TANABE HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/505;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
