ETCHING END POINT DISCRIMINATING METHOD,申请号JP19970268555-传众专利搜索

发明名称	ETCHING END POINT DISCRIMINATING METHOD
摘要
申请公布号	JPH11106964(A)	申请公布日期	1999.04.20
申请号	JP19970268555	申请日期	1997.10.01
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	TAKAHASHI CHIHARU;JIN YOSHITO;ONO TOSHIRO;NISHIMURA KAZUMI;MATSUO SEITARO
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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