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发明名称
摘要
申请公布号 JP2884645(B2) 申请公布日期 1999.04.19
申请号 JP19890319906 申请日期 1989.12.08
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SOMA KOJI
分类号 G01R27/02;G01N27/72;H01L21/66;H01L43/12;(IPC1-7):H01L43/12 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
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