发明名称 FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0185372(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19890009781 申请日期 1989.07.10
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 TSOU, LEN-YUAN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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