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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0182248(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950045769 申请日期 1995.11.30
申请人 TOSHIBA KK. 发明人 TSUCHIAKI, MASAKATSU
分类号 H01L27/04;H01L21/308;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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