| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING MULTILEVEL INTERCONNECTIONS IN A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0178375(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.15 |
| 申请号 |
KR19950043026 |
申请日期 |
1995.11.22 |
| 申请人 |
NEC CORP. |
发明人 |
HOMMA, TETSUYA;SEKINE, MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
