发明名称 FORMING METHOD OF METAL WIRING
摘要
申请公布号 KR0184157(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19960028406 申请日期 1996.07.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 JEON, YOUNG-KWON
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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