发明名称 METHOD FOR FORMING ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0179291(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19960010285 申请日期 1996.04.04
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, WUK-HA
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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