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经营范围
发明名称
BEAM LINE CHAMBER VENT METHOD AND ITS CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号
KR0178616(B1)
申请公布日期
1999.04.15
申请号
KR19950052280
申请日期
1995.12.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SONG, HO-KI;OK, KYUNG-HA;CHO, SHIN-HYUN;HUH, JANG-MOO
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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