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发明名称 METHOD FOR FABRICATING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM OF ZNO AND ZNO/SNO2 DOUBLE LATER USING ULTRASONIC SPRAYING METHOD
摘要
申请公布号 KR0176291(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950025877 申请日期 1995.08.22
申请人 KOREA INSTITUTE OF ENERGY RESEARCH 发明人 SONG, JIN-SOO;YUN, KYUNG-HUN
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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