发明名称 METHOD OF FORMING FLAT MULTILAYERED METAL INTERCONNECTOR IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0184462(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950046421 申请日期 1995.12.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, YOUNG-CHUL
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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