发明名称 FORMING METHOD OF LOCAL WIRING
摘要
申请公布号 KR0180277(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950039462 申请日期 1995.11.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 TSUTSUMI, TOSHIAKI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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