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发明名称 WAFER PHOTO-RESISTER BAKE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR141160(Y1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19930003541U 申请日期 1993.03.11
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 SHIN, DONG-UK
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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