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发明名称
ELEMENT ISOLATION REGION FORMING METHOD
摘要
申请公布号
KR0183839(B1)
申请公布日期
1999.04.15
申请号
KR19960012004
申请日期
1996.04.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
KIM, SUNG-EUI;PARK, MOON-HAN
分类号
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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