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发明名称 VAPOR PHASE GROWTH SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0176296(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19960001835 申请日期 1996.01.27
申请人 NEC CORP. 发明人 SHISHIGUCHI, SEIICHI;AOYAMA, TORU;SUZUKI, TATSUYA
分类号 C30B25/02;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/12;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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