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发明名称 WAFER CARRIER
摘要
申请公布号 KR0175681(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19920015366 申请日期 1992.08.26
申请人 FLUOROWARE INC. 发明人 KOS, ROBERT D.
分类号 B65D85/00;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
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