发明名称 ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0176155(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950016896 申请日期 1995.06.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KOO, BON-YONG;JUNG, BYUNG-HONG;KIM, HEE-SUK;KIM, YUN-KI
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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