发明名称 PARTICLE MEASUREMENT APPARATUS AND ITS ANALYSIS METHOD IN SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 KR0176152(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950013695 申请日期 1995.05.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, SANG-OH;KIM, JIN-SUNG;KANG, HEE-SE;MOON, SANG-YONG
分类号 G01N15/14;G01N1/02;G01N15/02;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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