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发明名称 WAFER ACCOUNTING AND PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0177590(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19920006390 申请日期 1992.04.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 KAGAMI, TOSHIHIKO;KOBAYASHI, KAZUYOSHI;ASAKAWA, EIJI;OSADA, ATSUSHI;HARA, KOZO;ABE, YASUJI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/31;H05H1/50;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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