发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING A SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR0185521(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19960002478 申请日期 1996.02.01
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITRMATERIALIEN AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 VON AMMON, WILRIED;DORNBERGER, ERICH;WEIDNER, HERBERT;PARDUBITZKI, ALFRED
分类号 C30B15/00;C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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