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发明名称 PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR0187348(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950009495 申请日期 1995.04.22
申请人 CANON KK. 发明人 UNNO, YASUYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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