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发明名称 FORMING METHOD OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 KR0183468(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19940031874 申请日期 1994.11.30
申请人 ORION ELECTRIC CO., LTD. 发明人 JU, YOUNG-DAE;SUNWOO, JIN-HO;JUNG, SUNG-JAE
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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