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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 KR0184377(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950056687 申请日期 1995.12.26
申请人 TOSHIBA KK. 发明人 HASHIMOTO, HIDETSUNA
分类号 H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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