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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR0186199(B1)
申请公布日期
1999.04.15
申请号
KR19950051420
申请日期
1995.12.18
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
LEE, KYUNG-HEE
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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