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经营范围
发明名称
DRYING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR0180344(B1)
申请公布日期
1999.04.15
申请号
KR19950036076
申请日期
1995.10.18
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
NAM, JAE-WOO;SONG, JAE-INN;NAM, CHANG-HYUN;YUN, CHUL-JOO
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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