SYSTEM ZUM EINSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN IN REINSTRÄUME,申请号AT19930901038T-传众专利搜索

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发明名称	SYSTEM ZUM EINSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN IN REINSTRÄUME
摘要
申请公布号	AT177876(T)	申请公布日期	1999.04.15
申请号	AT19930901038T	申请日期	1992.12.17
申请人	GENTISCHER, JOSEF	发明人	GENTISCHER, JOSEF
分类号	B65G47/52;B01L1/04;F24F3/16;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;B65D55/12	主分类号	B65G47/52
代理机构		代理人
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