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发明名称 METHOD FOR SCRUBBING AND CLEANING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR0186043(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19930009372 申请日期 1993.05.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD.;TOKYO ELECTRON KYUSHU LTD. 发明人 TANOUE, KOUICHI;KITAMURA, SHINZI;ANAI, NORIYUKI;SATOH, TAKAMI;TOMOEDA, TAKAYUKI;IWASAKI, TATSUYA;MIZOSAKI, KENGO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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