METHOD FOR PLASMA DOWNSTREAM PROCESSING,申请号KR19950021017-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PLASMA DOWNSTREAM PROCESSING
摘要
申请公布号	KR0176271(B1)	申请公布日期	1999.04.15
申请号	KR19950021017	申请日期	1995.07.18
申请人	FUJITSU LTD.	发明人	MIHARA, SATORU
分类号	H05H1/46;C23C16/44;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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