| 发明名称 |
Forming a silicon diaphragm in a cavity by anodizing, oxidizing, and etching |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0747686(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.14 |
| 申请号 |
EP19960401129 |
申请日期 |
1996.05.24 |
| 申请人 |
SSI TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
SEEFELDT, JAMES D.;MATTES, MICHAEL F. |
| 分类号 |
G01L9/04;B81B3/00;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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