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发明名称 Improvements in or relating to plasma reactors
摘要
申请公布号 EP0892422(A3) 申请公布日期 1999.04.14
申请号 EP19980305588 申请日期 1998.07.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 COLLINS, KENNETH;RICE, MICHAEL;BUCHBERGER, DOUGLAS;RODERICK, CRAIG;ASKARINAM, ERIC;SCHNEIDER, GERHARD;TROW, JOHN;TSUI, JOSHUA;GRIMARD, DENNIS;YIN, GERALD;WU, ROBERT
分类号 H05H1/46;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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