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发明名称
SILICON SINGLE CRYSTAL WITH NO CRYSTAL DEFECT IN PERIPHERAL PART OF WAFER AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号
EP0875607(A4)
申请公布日期
1999.04.14
申请号
EP19970900447
申请日期
1997.01.17
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED
发明人
TAKANO, KIYOTAKA;IIDA, MAKOTO;IINO, EIICHI;KIMURA, MASANORI;YAMAGISHI, HIROTOSHI
分类号
C30B15/22;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06;C30B15/20
主分类号
C30B15/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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