发明名称 ATMOSPHERIC-PRESSURE CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH1197433(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970253641 申请日期 1997.09.18
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ABE JUNICHIRO
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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