发明名称 COMPD. SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1197349(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970254813 申请日期 1997.09.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYAUCHI MASAYOSHI;HIGASHIURA MITSUGI
分类号 H01L27/06;H01L21/06;H01L21/8232;H01L21/8234;H01L27/095;(IPC1-7):H01L21/06;H01L21/823 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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