发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1197693(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970255072 申请日期 1997.09.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWANAKA SHIGERU
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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