| 发明名称 | 液化气的受控输送系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括:(a)一压缩液化气罐,其上连接有一输气管,前述气体通过该输气管被输出;(b)一前述气罐被置于其中的供气柜;和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率,但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。 | ||
| 申请公布号 | CN1213707A | 申请公布日期 | 1999.04.14 |
| 申请号 | CN97122788.8 | 申请日期 | 1997.11.24 |
| 申请人 | 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 | 发明人 | 本杰明·朱茨克;里查德·乌迪斯查斯;王华赤 |
| 分类号 | C23C16/44 | 主分类号 | C23C16/44 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种从液态输送气体的系统，包括：(a).一压缩液化气罐，其上连接有一输气管，前述气体通过该输气管 被输出；(b).一前述气罐被置于其中的供气柜；和(c).提高环境和前述气罐间的传热速率，不把前述气罐内的液体温度 升高到环境温度以上的装置。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||