| 发明名称 |
Mechanically stable field emission gun |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0552700(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.14 |
| 申请号 |
EP19930100672 |
申请日期 |
1993.01.18 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
GESLEY, MARK A.;DEBRA, DANIEL B. |
| 分类号 |
H01J37/12;H01J37/06;H01J37/073;H01J37/08;H01J37/15;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073;H01J3/02 |
主分类号 |
H01J37/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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