| 发明名称 |
STEAM-USING NEUTRALIZATION SYSTEM AND NUETRALIZATION METHOD FOR ION BEAM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1196961(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19980195401 |
申请日期 |
1998.07.10 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BIKUTAA MOORISU BENBENISUTE;FURANKU SHINKUREA;JIONGU CHIEN |
| 分类号 |
H01J37/317;C23C14/48;G21K1/14;H01J37/02;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
