| 发明名称 |
PULSE LASER WITH PULSE ENERGY TRIMMER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1197775(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19980205275 |
申请日期 |
1998.07.21 |
| 申请人 |
CYMER INC |
发明人 |
RICHIYAADO ERU SANDOSUTOROOMU |
| 分类号 |
H01S3/097;G02F1/03;H01S3/00;H01S3/115;H01S3/137;(IPC1-7):H01S3/097 |
主分类号 |
H01S3/097 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
