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发明名称 FILM PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1197410(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970250431 申请日期 1997.09.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TANAKA KEISUKE;NAGANO YOSHIHISA;NASU TORU;ITO TOYOJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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