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发明名称 PLASMA ETCHING ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH1197425(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970258432 申请日期 1997.09.24
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 ISHII MAKOTO;KAMATA MITSUJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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