| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING METAL IN FINE CONCAVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1197393(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19970269338 |
申请日期 |
1997.09.16 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KOGURE NAOAKI;INOUE HIROAKI |
| 分类号 |
H01L21/288;C23C18/31;C25D7/12;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/288;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/288 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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