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发明名称 HIGH PRESSURE DISCHARGE LAMP AND SEMICONDUCTOR ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH1196972(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970251077 申请日期 1997.09.16
申请人 TOSHIBA LIGHTING & TECHNOLOGY CORP 发明人 YONEZAWA AKIHIRO;TAKAHASHI TETSUYA;KOGYO YOICHIRO;SUGAWARA AKIRA;WAKAYAMA TETSUO
分类号 G03F7/20;H01J61/36;H01L21/027;(IPC1-7):H01J61/36 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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