| 发明名称 |
FLOWMETER AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1194608(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19970252247 |
申请日期 |
1997.09.17 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE |
| 分类号 |
G01F1/22;H01L21/02;(IPC1-7):G01F1/22 |
主分类号 |
G01F1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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